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日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω

日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω

更新日期:2024-05-14

訪問量:1761

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω
該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比,樣品制作和測量更容易。

日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω

該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比,樣品制作和測量更容易。

  • 量化低K絕緣膜的熱阻,用于半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)

  • 絕緣膜的開發(fā)與散熱的改善

  • 熱電薄膜應(yīng)用評(píng)價(jià)

特征

  • 可以測量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導(dǎo)率。

  • 使用熱反射法通過溫度幅度檢測實(shí)現(xiàn)測量

  • 測量樣品的簡單預(yù)處理

規(guī)格

測量溫度轉(zhuǎn)播時(shí)間
樣品尺寸寬度 10 毫米 x 長度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米(板)
測量氣氛在真空中


測量原理

論文“絕熱邊界條件下2ω法評(píng)估薄板樣品的熱導(dǎo)率"

當(dāng)以 f/Hz 的頻率加熱金屬薄膜時(shí),加熱量以 2 f/Hz 的頻率變化。
金屬薄膜(0)-薄膜(1)-襯底(s)三層體系中金屬薄膜表面的溫度變化T(0)在熱擴(kuò)散條件下是一維的充分通過金屬薄膜/薄膜,下面的公式用于表示傳熱模型的解析解。

(Λ: 導(dǎo)熱系數(shù) W m -1 K -1 , C: 體積比熱容 JK -1 m -3 , q: 每體積熱量 W m -3 , d: 厚度 m, ω: 角頻率 (= 2πf) / 秒-1 )

由于實(shí)數(shù)解(同相幅度)包含薄膜的信息,因此在相同條件下在不同頻率下進(jìn)行測量時(shí),同相幅度(2ω)-0.5成正比。
薄膜的熱導(dǎo)率λ 1由下式獲得。
(M:斜率,n:截距)

TCN-2ω示意圖

TCN-2ω對(duì)SiO 2薄膜的測量結(jié)果

薄膜的評(píng)價(jià)

測量樣品



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