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    半導(dǎo)體圓晶,硅晶體非接觸式厚度檢測技術(shù)

    發(fā)布時間: 2021-09-26  點擊次數(shù): 1240次

    半導(dǎo)體圓晶,硅晶體非接觸式厚度檢測技術(shù)

    <使用>

    半導(dǎo)體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,玻璃、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚(非接觸式測厚)

    <特點>

    1. 1. 通過空氣背壓法可以進行非接觸式測厚(非接觸式測厚),不會造成劃痕和污染等損壞
    不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,可以輕松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
    在潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
    。即使是鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
    。由于采用上下測量噴嘴進行測量,因此
       可以準確測量“厚度",不受被測物體“滑行"引起的抬升的影響。
      (“雪橇"測量也可以作為選項(* 1))
    6. 由于操作簡單,因此可以非常輕松地進行測量和校準(* 2)。

    <測量原理>

    精確控制上、下測量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定,并與預(yù)先用基準規(guī)校準的值進行比較計算處理對被測物體進行測量操作,可精確計算厚度。

    測量原理圖


    <性能>

      分辨率 0.1 μm
      重復(fù)精度 10 次重復(fù) 連續(xù)測量時的標準偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
      測量范圍 max. 10mm (* 3)
      供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
                潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)


    <基本配置>
    標準的非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)是一組以下設(shè)備。
    (1) 非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
    ②測量臺(安裝臺) ? ? ? ? 從附接“表型"的選擇·
    ········1組③控制箱(分離型)············1個
    ④手操作開關(guān)BOX········ · · · · · · 1套

    ⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測量控制的個人電腦??????????1套
    ⑥連接電纜?????????????????? ? ? ? 1 組
    ⑦ 校準規(guī)(規(guī)定厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
    ⑧ 測量控制標準軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
    除上述以外,還可以根據(jù)用途從“Option list"中選擇可選產(chǎn)品。 



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