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    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)技術(shù)解析及應(yīng)用前景

    發(fā)布時(shí)間: 2023-09-12  點(diǎn)擊次數(shù): 383次

    摘要:
    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)是一種適用于MBE等超高真空設(shè)備的先進(jìn)束源。本文將介紹其特點(diǎn)和設(shè)備規(guī)格,并重點(diǎn)探討其在MBE設(shè)備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。

    QQ截圖20230912211933.jpg

    介紹:
    ERS-35采用了電子回旋共振放電技術(shù),可在超高真空環(huán)境下提供穩(wěn)定的原子束或自由基束,廣泛應(yīng)用于分子束外延(MBE)和其他超高真空設(shè)備中。其具備以下特點(diǎn):

    1. wanquan金屬密封:ERS-35與超高真空設(shè)備兼容,采用wanquan金屬密封設(shè)計(jì),確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作,避免任何氣體泄漏和污染。

    2. 易于操作的同軸電纜電源:ERS-35配備了易于操作的同軸電纜電源,簡(jiǎn)化了功率供應(yīng)的連接和控制,提高了設(shè)備的可操作性和穩(wěn)定性。

    3. 無(wú)金屬污染的介電襯里:為了確保高純度的束流輸出,ERS-35采用無(wú)金屬污染的介電襯里,有效減少了雜質(zhì)的產(chǎn)生和污染的風(fēng)險(xiǎn)。

    4. 帶偏壓電極的介電引出柵:ERS-35的介電引出柵設(shè)計(jì)了帶偏壓電極,擅長(zhǎng)產(chǎn)生自由基束。這種設(shè)計(jì)允許束源輸出具有高度定向性和可調(diào)控性的自由基束。

    設(shè)備規(guī)格:

    • 連接真空端口標(biāo)準(zhǔn):ICF70,與常見的超高真空設(shè)備接口標(biāo)準(zhǔn)兼容。

    • 同軸連接器標(biāo)準(zhǔn):N型,便于與其他設(shè)備進(jìn)行連接和集成。

    • 適用微波頻率:2.45GHz,與常用工業(yè)微波設(shè)備兼容。

    • 允許微波功率:最大100W,提供充足的能量供應(yīng)。

    • 冷卻方式:水冷,確保設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持合適的溫度。

    應(yīng)用實(shí)例:

    1. MBE設(shè)備用氮/氧自由基源:ERS-35能夠產(chǎn)生穩(wěn)定而高純度的氮或氧自由基束,可用于分子束外延(MBE)中的材料沉積和氣相外延生長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)精確的薄膜和納米結(jié)構(gòu)的控制。

    2. 表面清洗用原子氫源:ERS-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應(yīng)用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質(zhì)和氧化物,并恢復(fù)材料的純凈度和特性。

    結(jié)論:
    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)通過(guò)其
    wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于MBE設(shè)備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,ERS-35將為超高真空設(shè)備的研究和應(yīng)用提供更多創(chuàng)新的可能性。


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